适用于平板显示器行业的真空和空气污染控制设备

平板显示器 (FPD) 制造制程需要 能够支持巨大加工室并在最大可靠性的情况下输送 高气体流速的真空和减排设备。需要使用 真空泵来泵送有毒、自燃和腐蚀性气体，并处理制造制 程舱中形成的大量固态制程副产物。我们的客户一次 又一次地选择我们作为其首选合作伙伴充分证明了我们的 技术领导力。 

我们在 FPD 领域的经验让我们能够开发出 可解决客户制程问题并优化生产力的解决方案。我们广泛的干泵 和涡轮分子泵 (TMP) 经过专门设计，可以最大限度地提高基板吞吐量和最终零湿度制程条件， 同时尽可能降低功耗、占地面积和重量。在与我们的废气管理 系统配合使用时，能够管理高气体流量并有效减排 有毒和易燃气体， 同时延长维修间隔，另外还可以将多个腔连接 到一个工具以实现完整的集成真空和减排解决方案。通过引进全新的干泵创新 设计（包括 iXH、iXL 和 iXM），降低了每个腔需要的 制程泵数量，同时仍能在低功率输入条件下实现高的 生产吞吐量，环保模式可在空闲期间降低资源消耗。 

对更高分辨率、更具交互性、超薄且灵活 设备的未来需求激励着我们开发更加智能的解决方案， 这些解决方案将会降低拥有成本并提高制程正常运行时间。  无论显示器 的未来是什么样，请放宽心，我们会直面挑战并继续作为 显示器制造制程领域的推动者。