适用于光电制造商的空气质量控制和干式真空泵系统

随着我们探寻各种方法以求减小对于化石燃料的 依赖而不破坏子孙后代赖以生存的环境，人们对于环保且可 再生能源的需求越来越大。最 环保的解决方案之一是太阳能。制造商使用 晶体硅、CdTe、 CIGS 或硅薄膜技术等多种制程来 生产捕获阳光并将其转换为能量的光伏电池。 最近十年的技术快速发展使得太阳能在经济 方面更具竞争力，同时提高了效率并降低了 制造成本。

Edwards 在适用于太阳能应用的真空和减排 方面处于领先地位。我们利用了 我们产品的能力和来自半导体领域的应用专长， 转移或开发了我们最先进的光电制造制程 技术。我们能够诊断问题并通过支持世界各地领先的 太阳能 OEM 来创新实用的解决方案，在质量、产品产量 和成本方面为最终用户带来实实在在的好处。

我们是唯一能够向世界各地的光电产品制 造商提供适合所有制程的完整系列干式真空泵、 涡轮分子泵 (TMP) 和废气管理系统的制造商。无论是作为单独的产品系列，还是作为完全集成的 泵和减排解决方案，我们在光电领域内的制程 知识和技术专长都是帮助您保持交付和质量要求的 关键因素。

我们的干泵系列包括 iH、GXS、iXL、iXH 和 STP 涡轮分子泵，每个系列都已进行优化以满足客户的特定 应用要求，具有出色的制程气体处理和温度管理能力， 可最大限度地提高可靠性。环保模式技术将会降低功耗，实现 低的运营成本并减轻对环境造成的 影响。

光电制造制程中广泛使用包括 Atlas 系列和 Spectra ZW 系列燃烧型洗涤器在内的减排产品 以便在高氢气流量和极端毒性自燃气体 条件下实现高可靠性，使得制造商 能够减轻其对 环境造成的影响，同时降低 运营成本

备受赞誉的 EZENITH 将真空泵和 减排技术集成到单个系统中，可为制造商 提供高效、低拥有成本、可满足最新制造和环境 要求的解决方案。EZENITH 便于安装和使用，还可节省宝贵的工厂地面空间。它采用 环保模式，可显著降低能耗，因此既能减少 对环境的影响，又能进一步降低拥有 成本。

我们的 高市场份额、应用专长和强大的全球服务网络 就是我们在光电制造制程领域获得成功并处于领先 地位的证明。我们已经与客户合作开发出了尖端技术，可以推动 太阳能行业更快发展。