中国目前哪些领域的薄膜沉积用的真空泵需要进口?国产的主要技术壁垒是什么
来源: 英国爱德华真空泵官网   发布时间:2023-03-10 11:30    次浏览   大小:  16px  14px  12px
据我了解,中国目前在半导体、光电子、平板显示、太阳能电池、LED、微电子加工等领域的薄膜沉积工艺中需要使用
据我了解,中国目前在半导体、光电子、平板显示、太阳能电池、LED、微电子加工等领域的薄膜沉积工艺中需要使用高精度真空泵进行气体抽取和真空控制。其中,一些高端的真空泵设备还需要从国外进口,例如欧洲和美国等发达国家的真空泵制造商。

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国产真空泵在技术上的主要壁垒包括以下几个方面:
  1. 1、制造工艺:制造高端真空泵需要精密的加工设备和高水平的技术人才,而这些方面我国相对落后,对于部分技术要求较高的零部件,如涡轮叶轮、电机等则需要从国外引进。
  2. 2、材料技术:真空环境非常苛刻,需要使用高纯度、高强度的材料,例如不锈钢、陶瓷等,而目前国内生产的材料质量相对欧美发达国家还有一定差距,在材料制备和检测方面亟需提高。
  3. 3、技术标准:国产真空泵的技术标准需要遵循国际先进水平,然而我国在真空泵相关的行业标准制定方面尚不成熟,这也给国产真空泵的生产和应用带来了一定的挑战。
  4. 4、市场占有率:与欧美等发达国家相比,国内真空泵市场处于初步阶段,缺乏成熟的市场经验和市场占有率,这也影响了国产真空泵的生产和推广。