

概述
XDS100B 是滚轴增压泵,具备专门针对高抽速用途的泵送机械装置。与所有增压泵一样,它需要与主泵一同使用,非常适合与 Edwards XDS35i 或 XDS46i 滚轴泵搭配。当入口压力在 1 mbar 到 10 mbar 之间时,XDS100B 针对最大抽速进行了优化,因此非常适合超高吞吐量的 LCMS 应用。先进的泵设计使得末端密封磨损几乎消失,也就减少了维修干预,尽可能延长正常运行时间。
变换器驱动允许泵连接到单相电源,控制着电机的特性,确保泵总是以优化速度运行,并使用户可以对泵进行远程控制。
技术
滚轴泵利用相互交错的固定和轨道滚轴来产生非接触式新月形气泡,并通过轨道运行不断对其进行压缩。这意味着,与油密封旋转泵不同,在泵移动量中不需要密封剂或润滑剂
特点优势
真空外壳中不需要使用润滑剂,完全密封可保证彻底的清洁和干燥真空,防止交叉污染
无大气压到真空的轴封可使轴承完全隔离,从而阻止制程攻击,轴承也能以更低温度运行,使用时间更长
无需更换润滑油,也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用
简单的单侧滚轴设计意味着维护工作可在数分钟内完成,降低运行成本,尽可能延长正常运行时间
变换器驱动可使抽速稳定维持在 50/60Hz
抽速 |
|
50 或 60Hz |
95 m3h-1/56 ft3min-1 |
极限真空(总压力)* |
<1 x 10-2 mbar / <8 x 10-3 Torr |
最大连续进气口压力 |
20 mbar/15 Torr |
最大连续出口压力 |
60 mbar / 45 Torr |
短时内进气口处的最大允许压力 |
0.5 bar 表压/7 psig |
要从大气抽空的最大真空腔体积 |
100 升 |
用于循环负载的最大真空腔体积 – 最大为每小时 6 |
50 升 |
电机功率 |
0.52 kW |
标称转速 |
1750 rpm |
重量 |
48 kg/105 lb |
入口法兰 |
NW40 |
排气口法兰 |
NW40 |
噪音级别 |
52.1 dB(A) |
振动 |
<4.5mms -1 (rms) |
密封性(静态) |
<1 x 10-6 mbar ls-1 |
工作温度范围 |
10 至 40 °C/50 至 104 °F |